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2020-08-06 04:48:01  2754次浏览 次浏览
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实现洁净度要求的通风措施

洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 [1] :

(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。

(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。

洁净室气流组织考虑原则

(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。

(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。

(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。

(4) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。

(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。

(6) 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。

(7) 洁净室内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。 [2]

洁净室空气流量原理

洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站(LF罩)中说明,并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。

适当的洁净室设计包括整个空气分配系统,包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中,这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中,它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。

洁净室分类

洁净室按空气清洁程度分类。在美国的联邦标准209(A至D)中,在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数,并且该计数用于对洁净室进行分类。该标准的209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行了分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算,以对洁净室或洁净区域的清洁度水平进行分类。在英国,英国标准5295用于对洁净室进行分类。该标准即将被BS EN ISO 14644-1取代。

洁净室根据每单位空气允许的颗粒数量和大小进行分类。诸如“100级”或“1000级”的大数字指的是FED_STD-209E,并且表示每立方英尺空气允许的0.5mm或更大尺寸的颗粒的数量。该标准还允许插值,因此可以描述例如“类2000”。

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