就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1] ：
对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
洁净室气流组织考虑原则
当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。
减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。
为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
一般情况下，净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室，尤其是半导体工业洁净室而言，其负荷特点是：由于排风量大造成新风量大，故新风处理所需冷量消耗大；送风量大，输送动力消耗大，风机管道温升高；生产设备的发热量大，消耗冷量大。
洁净技术，即玷污控制(Contamination Control)技术。指的是：对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。