所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时(驻极体材料)，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大。改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变。如果你知道材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。
一般生产车间一般以自身的加工工艺规定为标准，可是无尘室管理就显著繁杂很多。依据自然环境清洁水平，按时拆换初、中效过滤器空气过滤网，中效过滤器拆换時间隔一般为3-6个月，新风系统進口的中效过滤器拆换清理间隔时间为30天上下。按时(3~6个月)检验各净化室的工作压力，一般洁净区正压力应超过10pa，不然务必查验初效、中效过滤器是不是阻塞，拆换、查验送排烟风机是不是运行正常。
建造一个合格的电子无尘车间需要考虑多个因素，包括空气过滤、控制粉尘、静电消除、温度和湿度控制以及合适的设备和工作流程。空气过滤：安装的空气过滤系统是建造无尘车间的关键。使用HEPA（颗粒空气）过滤器能够有效地捕捉微小颗粒物，防止灰尘和污染物进入车间。